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無塵室內生產製造設備應注意的重點

無塵室內生產製造設備的選擇、布置與保養以及防塵措施、實現自動化與無塵化的注意要點。

 

1.生產設備之選擇、布置與保養:

 

 

a.要選用發塵性較少的生產設備及相關設備,尤其須注意活動部分之發塵。

 

 

b.應選擇塵埃之影響較小的生產設備或接口設備。

 

 

c.生產用之水、氣體、藥品等往往是造成汙染的原因,故應配備過濾裝置。

 

 

d.規劃各設備之配置空間時,事先宜考慮不易積累微塵之結構,規劃各並以容易清潔為原則。

 

 

e.真空泵等容易產生汙染物的這類設備,應設置在無塵室外麵或回風區,並加裝排氣管線排氣。

 

 

f.設置給水管線、氣體管線和電氣係統時,其構造須考慮到容易清潔,不易積累汙染物。

 

 

g.生產及相關設備應定期清掃,以避免微塵之堆積。

 

 

h.應加強注意室內的溫濕度控製,避免因濕度之不當造成結露生鏽。

 

 

i.當設備維修時易產生微塵粒子,故維修時盡量於清潔室外進行,並加隔離柵隔離。

 

 

j.對於施工或維修之廠商,應告知進出無塵室之各項規定,且負責工程師應隨侍在側監工。

 

 

k.應有無塵室專用工具組,但不得帶出無塵室外使用。

 

 

l.規劃空間時若能臨近無塵室設立一間維修和設備保養手冊置放室,將是一理想之規劃。

 

 

 

2.生產設備之防塵措施:

 

 

a.磨損、切削均為發生微塵之原因,故需將發塵部分掩蓋之。

 

b.易產生塵埃之設備,若能的話應布置於風尾地點。

 

 

c.在操作時,盡量減少接觸零件或產品。

 

 

d.不得有太大或不必要的操作動作,以免卷起附近之灰塵。

 

 

e.各項廠務設施之供應如水、氣體和化學品於進入生產設備前應有過濾設備。

 

 

f.為不使氣體或液體滯留,造成微汙染,故管路配置應有旁路閥之設置。

 

 

 

3.自動化與無塵化:

 

 

a.設立自動化傳送係統,可減少人員方麵所帶來的汙染,唯費用相當昂貴,須詳加評估。

 

 

b.建立管製項目如進入無塵室人員的資格限定,無塵室作業人員作業規則,無塵室管理規則等。

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